Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.authorVejmola, Tomáš
dc.contributor.authorYahya, Doaa
dc.contributor.authorSandera, Josef
dc.contributor.editorPihera, Josef
dc.contributor.editorSteiner, František
dc.date.accessioned2015-01-19T11:19:15Z
dc.date.available2015-01-19T11:19:15Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationElectroscope. 2014, č. 3, EDS 2014.cs
dc.identifier.issn1802-4564
dc.identifier.urihttp://147.228.94.30/images/PDF/Rocnik2014/Cislo3_2014/r8c3c8.pdf
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/11824
dc.format4 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnickács
dc.relation.ispartofseriesElectroscopecs
dc.rightsCopyright © 2014 Electroscope. All Rights Reserved.en
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectvakuové odpařovánícs
dc.subjectmechanické vlastnostics
dc.subjectelektrické vlastnostics
dc.subjectelektrická měřenícs
dc.titleMechanical and electrical properties of evaporated thin layersen
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessopenAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedThe study deals with the vacuum evaporation technique of thin layers, considering different process parameters and their influence on electrical properties. Parameters, such as temperature, different substrate types, substrate vibrations, etc., are considered. The effects of the process parameters on the coating structure are observed. The temperature affects the coating quality and stability [1] [2]. Regarding electrical properties, the surface resistivity is measured by four-point method, whereas the influence of process parameters on the surface resistivity is determined as well.en
dc.subject.translatedthin layersen
dc.subject.translatedvacuum evaporationen
dc.subject.translatedmechanical propertiesen
dc.subject.translatedelectrical propertiesen
dc.subject.translatedelectrical measurementsen
dc.type.statusPeer-revieweden
Vyskytuje se v kolekcích:Číslo 3 (2014)
Číslo 3 (2014)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
Vejmola.pdfPlný text397,61 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/11824

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.