| Název: | Mechanical and electrical properties of evaporated thin layers |
| Autoři: | Vejmola, Tomáš Yahya, Doaa Sandera, Josef |
| Citace zdrojového dokumentu: | Electroscope. 2014, č. 3, EDS 2014. |
| Datum vydání: | 2014 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická |
| Typ dokumentu: | článek article |
| URI: | http://147.228.94.30/images/PDF/Rocnik2014/Cislo3_2014/r8c3c8.pdf http://hdl.handle.net/11025/11824 |
| ISSN: | 1802-4564 |
| Klíčová slova: | tenké vrstvy;vakuové odpařování;mechanické vlastnosti;elektrické vlastnosti;elektrická měření |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | thin layers;vacuum evaporation;mechanical properties;electrical properties;electrical measurements |
| Abstrakt v dalším jazyce: | The study deals with the vacuum evaporation technique of thin layers, considering different process parameters and their influence on electrical properties. Parameters, such as temperature, different substrate types, substrate vibrations, etc., are considered. The effects of the process parameters on the coating structure are observed. The temperature affects the coating quality and stability [1] [2]. Regarding electrical properties, the surface resistivity is measured by four-point method, whereas the influence of process parameters on the surface resistivity is determined as well. |
| Práva: | Copyright © 2014 Electroscope. All Rights Reserved. |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Číslo 3 (2014) Číslo 3 (2014) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Vejmola.pdf | Plný text | 397,61 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/11824Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.