| Title: | Time-resolved Langmuir probe diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges during deposition of copper films |
| Authors: | Pajdarová, Andrea Dagmar Vlček, Jaroslav Musil, Jindřich Kudláček, Pavel Lukáš, Jan |
| Citation: | XXVIII International conference on phenomena in ionized gases: July 15-20, 2007, Prague, Czech Republic: proceedings. Praha: Institute of Plasma Physics AS CR, 2007, p. 1960-1962. |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | Institute of Plasma Physics AS CR |
| Document type: | článek konferenční příspěvek article conferenceObject |
| URI: | http://icpig2007.ipp.cas.cz/files/download/cd-cko/ICPIG2007/pdf/5P08-11.pdf http://hdl.handle.net/11025/1439 |
| ISBN: | 978-80-87026-01-4 |
| Keywords: | vysokovýkonový pulzní magnetron;magnetronová depozice;Langmuirova sonda;plazmová fyzika;diagnostika |
| Keywords in different language: | high-power pulsed magnetron;magnetron deposition;Langmuir probe;plasma physics;diagnostics |
| Abstract: | Elektronové rozdělovací funkce podle energie a lokální plazmové parametry byly zkoumány v pozici u substrátu (100mm od terče) pomocí časově rozlišené diagnostiky Langmuirovou sondou během vysokovýkonového pulzního dc magnetronového naprašování měděných vrstev. Velmi vysokých hustot plazmatu (až 2.1012cm-3) bylo dosaženo při opakovací frekvenci pulzů napětí fr=1kHz, délce pulzu t1=200μs, tlaku argonu p=1Pa a průměrném proudu v pulzu Ida=50A. Při stejných podmínkách kinetická energie elektronů rostla s rostoucím výkonem během pulzu. Po iniciační fázi byla v intervalu 10500-12500K. Na začátku pulzu byly zaznamenány poklesy plovoucího potenciálu plazmatu. |
| Rights: | © Andrea Dagmar Pajdarová, Jaroslav Vlček, Jindřich Musil, Pavel Kudláček, Jan Lukáš |
| Appears in Collections: | Monografie a kolektivní monografie / Monographs and collective monographs (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 5P08-11.pdf | 398,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/1439Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.